KD2MS - VFC 低能耗高纯度隔膜阀原装到货上市

核心定位与应用

专为半导体、液晶显示（LCD）等行业的高纯气体控制场景设计，解决传统阀门死体积大、泄漏风险高、控制精度不足等痛点，适配超高洁净工艺中流量微调与稳定截断需求，可用于光刻、蚀刻等核心制程的气体输送控制。

关键性能与参数

1. 极致低死体积：1/8"CVC 规格死体积仅 0.22cm³，内表面电解抛光（EP 级 316L 不锈钢），Rz≤0.7μm，减少气体滞留与颗粒残留，提升气体置换效率。
2. 超稳密封与耐腐：PCTFE 材质隔膜 + 特殊成型工艺，密封面面积达传统型号 3.5 倍，泄漏量≤1.0×10⁻¹⁰Pa・m²/s，耐受强酸强碱与有机溶剂。
3. 低能耗精准控制：搭载 VFC（电压频率转换）技术，将模拟电压信号转为稳定频率信号，实现流量微调与全开 / 全闭二段式控制，远距离传输抗干扰，降低系统能耗。
4. 操作与安全：270° 手动操作手柄，弹簧垫圈锁止结构防误操作，适配手动应急与自动化控制切换，安装维护便捷。

市场意义

进一步巩固 KITZ 在半导体高纯流体控制领域的技术优势，为高洁净制造提供低能耗、高可靠的阀门解决方案，助力相关产业提升工艺稳定性与良率。